በፒቪዲ እና ሲቪዲ መካከል ያለው ቁልፍ ልዩነት በ PVD ውስጥ ያለው የሽፋን ቁሳቁስ በጠንካራ መልክ ሲሆን በሲቪዲ ውስጥ ግን በጋዝ መልክ ነው።
PVD እና ሲቪዲ የመሸፈኛ ቴክኒኮች ናቸው፣ ይህም ቀጭን ፊልሞችን በተለያዩ ንዑሳን ክፍሎች ላይ ለማስቀመጥ ልንጠቀምባቸው እንችላለን። የከርሰ ምድር ሽፋን በብዙ አጋጣሚዎች አስፈላጊ ነው. መሸፈኛ የንጥረቱን ተግባር ማሻሻል ይችላል; በንዑስ ፕላስቲቱ ላይ አዲስ ተግባርን ያስተዋውቁ, ከጎጂ የውጭ ኃይሎች ይጠብቁ, ወዘተ. ስለዚህ እነዚህ አስፈላጊ ዘዴዎች ናቸው. ምንም እንኳን ሁለቱም ሂደቶች ተመሳሳይ ዘዴዎችን ቢጋሩም, በ PVD እና CVD መካከል ጥቂት ልዩነቶች አሉ; ስለዚህ በተለያዩ አጋጣሚዎች ጠቃሚ ናቸው።
PVD ምንድን ነው?
PVD አካላዊ የእንፋሎት ማስቀመጫ ነው። በዋናነት የእንፋሎት ሽፋን ዘዴ ነው. ይህ ሂደት በርካታ ደረጃዎችን ያካትታል. ሆኖም ግን, አጠቃላይ ሂደቱን በቫኩም ሁኔታዎች ውስጥ እናደርጋለን. በመጀመሪያ፣ ጠንከር ያለ ቅድመ-ቁሳቁሱ በኤሌክትሮኖች ጨረር ተጥሏል፣ ስለዚህም የዚያን ቁሳቁስ አተሞች ይሰጣል።
ምስል 01፡ ፒቪዲ አፓርተራ
በሁለተኛ ደረጃ እነዚህ አቶሞች የሽፋኑ ንኡስ ክፍል ወደሚገኝበት ምላሽ ሰጪ ክፍል ይገባሉ። እዚያም በሚጓጓዙበት ጊዜ አተሞች የመሸፈኛ ቁሳቁሶችን ለማምረት ከሌሎች ጋዞች ጋር ምላሽ ሊሰጡ ይችላሉ ወይም አተሞች እራሳቸው የሽፋን ቁሳቁስ ሊሆኑ ይችላሉ. በመጨረሻም ቀጭን ኮት በማድረግ በንጥረቱ ላይ ያስቀምጣሉ. የPVD ሽፋን ግጭትን ለመቀነስ ወይም የአንድን ንጥረ ነገር ኦክሳይድ መቋቋም ለማሻሻል ወይም ጥንካሬን ለማሻሻል ወዘተ ጠቃሚ ነው።
ሲቪዲ ምንድን ነው?
CVD የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ ነው። ጠንካራ ለማስቀመጥ እና ከጋዝ ደረጃ ቁሳቁስ ቀጭን ፊልም ለመፍጠር ዘዴ ነው። ምንም እንኳን ይህ ዘዴ ከ PVD ጋር ተመሳሳይ ቢሆንም በ PVD እና በሲቪዲ መካከል የተወሰነ ልዩነት አለ። ከዚህም በላይ እንደ ሌዘር ሲቪዲ፣ ፎቶ ኬሚካል ሲቪዲ፣ ዝቅተኛ ግፊት ሲቪዲ፣ ብረት ኦርጋኒክ ሲቪዲ፣ ወዘተ የመሳሰሉ የተለያዩ የሲቪዲ ዓይነቶች አሉ።
በሲቪዲ ውስጥ፣ በንዑስ ስትሬት ማቴሪያል ላይ ቁሳቁስ እየሸፈነን ነው። ይህንን ሽፋን ለማድረግ, በተወሰነ የሙቀት መጠን ውስጥ በእንፋሎት መልክ የተሸፈነውን ቁሳቁስ ወደ ምላሽ ክፍል መላክ አለብን. እዚያም ጋዙ ከሥርዓተ-ነገር ጋር ምላሽ ይሰጣል, ወይም መበስበስ እና በንጣፉ ላይ ያስቀምጣል. ስለዚህ፣ በሲቪዲ መሳሪያ ውስጥ፣ የጋዝ አቅርቦት ሥርዓት፣ ምላሽ ሰጪ ክፍል፣ የመጫኛ ዘዴ እና የኢነርጂ አቅራቢ ሊኖረን ይገባል።
ከዚህም በተጨማሪ ምላሹ የሚከሰተው በቫኪዩም ውስጥ ከሚፈጠረው ጋዝ ውጪ ምንም አይነት ጋዞች አለመኖሩን ለማረጋገጥ ነው። ከሁሉም በላይ, የተከማቸበትን ሁኔታ ለመወሰን የንጥረቱ ሙቀት ወሳኝ ነው; ስለዚህ በመሳሪያው ውስጥ ያለውን የሙቀት መጠን እና ግፊት የምንቆጣጠርበት መንገድ እንፈልጋለን።
ስእል 02፡ በፕላዝማ የታገዘ ሲቪዲ አፓርተራ
በመጨረሻም መሳሪያው ከልክ ያለፈ የጋዝ ቆሻሻን የማስወገድ ዘዴ ሊኖረው ይገባል። ተለዋዋጭ የሽፋን ቁሳቁስ መምረጥ አለብን. በተመሳሳይም መረጋጋት አለበት; ከዚያም ወደ ጋዝ ደረጃ እንለውጣለን እና ከዚያም በንጣፉ ላይ እንለብሳለን. እንደ SiH4፣ GeH4፣ NH3፣ Halides፣ metal carbonyls፣ metal alkyls እና metal alkoxides ያሉ ሃይድሪዶች ከቅድመ-መጤዎች ጥቂቶቹ ናቸው። የሲቪዲ ቴክኒክ ሽፋን፣ ሴሚኮንዳክተሮች፣ ውህዶች፣ ናኖማቺኖች፣ ኦፕቲካል ፋይበር፣ ካታላይስት ወዘተ ለማምረት ጠቃሚ ነው።
በPVD እና CVD መካከል ያለው ልዩነት ምንድን ነው?
PVD እና CVD የሽፋን ቴክኒኮች ናቸው። PVD አካላዊ ትነት ማስቀመጥን ሲያመለክት ሲቪዲ ደግሞ የኬሚካላዊ የእንፋሎት ክምችትን ያመለክታል። በ PVD እና በሲቪዲ መካከል ያለው ቁልፍ ልዩነት በ PVD ውስጥ ያለው የሽፋን ቁሳቁስ በጠንካራ ቅርጽ ሲሆን በሲቪዲ ውስጥ ግን በጋዝ መልክ ነው.በ PVD እና በሲቪዲ መካከል ያለው ሌላ አስፈላጊ ልዩነት ፣ በ PVD ቴክኒክ አተሞች በመሬት ላይ እየተንቀሳቀሱ እና በሲቪዲ ቴክኒክ ውስጥ የጋዝ ሞለኪውሎች ከ substrate ጋር ምላሽ ይሰጣሉ ማለት እንችላለን።
በተጨማሪም፣ በተቀማጭ ሙቀቶች ውስጥም በPVD እና CVD መካከል ልዩነት አለ። ያውና; ለ PVD በአንፃራዊነት ዝቅተኛ የሙቀት መጠን (250°C~450°C አካባቢ) ያስቀምጣል፣ ለሲቪዲ ደግሞ በአንጻራዊ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ከ450°C እስከ 1050°C ድረስ ያስቀምጣል።
ማጠቃለያ - PVD vs CVD
PVD አካላዊ ትነት ማስቀመጥን ሲያመለክት ሲቪዲ ደግሞ የኬሚካል ትነት ማስቀመጥን ያመለክታል። ሁለቱም የሽፋን ዘዴዎች ናቸው. በ PVD እና በሲቪዲ መካከል ያለው ቁልፍ ልዩነት በ PVD ውስጥ ያለው የሽፋን ቁሳቁስ በጠንካራ መልክ ሲሆን በሲቪዲ ውስጥ ግን በጋዝ መልክ ነው ።
